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一片晶圓切割方法

時(shí)間:2021-12-11

  目前隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,由晶圓單位面積內(nèi)產(chǎn)出的芯片顆粒也越來(lái)越多,這樣效益更高。我們也可以通過(guò)減少晶圓切割的寬度來(lái)降低切割道所占用面積,增加芯片顆粒數(shù)量。
  傳統(tǒng)的金剛石砂輪劃片需要較大的劃片道,通常在80um左右。隱形激光切割劃片道只需要20um,但激光切割的端面沒(méi)有刀片切割的整齊。若是刀片切割,不同的襯底材料需要選擇不同刀片,如軟刀、硬刀、刀片的目數(shù)等。
  另外隨著半導(dǎo)體切割技術(shù)的發(fā)展,根據(jù)工藝要求,也發(fā)明出了不同的切割方法,更能優(yōu)化芯片的切割性能。